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集成电路行业废气处理方案

当今是以集成电路技术为核心的数字信息时代,在集成电路制造的过程中会产生大量的有机污染物、无机污染物等有毒有害气体,那么集成电路废气应该怎么处理,或者说有无集成电路废气解决方案?北京m6网页版环保公司为您介绍如下:

集成电路行业废气介绍

主要来源:在集成电路制程工艺中,会经常使用硫酸、盐酸、显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液,而产生大量的酸碱和有机废气。

主要成分:有以下几种:

  1. 有机废气:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;
  2. 酸性废气:硫酸雾、氯化物、氯气;
  3. 碱性废气:氨气、氟化物等;
  4. 一般排气:无害气体。

主要危害

  1. 集成电路制程工艺经常使用化学药剂,如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物,易造成对大气环境的污染;
  2. 在整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染,这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。

 

集成电路废气处理方案介绍

常用的工业废气处理工艺有:酸碱中和法、活性炭吸附法、催化燃烧法、直接燃烧法、等离子法、吸收法、冷凝法等。

集成电路制造行业因废气性质、成分不同,其废气处理处理方案也有所差异,结合工业废气处理工艺,集成电路行业废气处理方案主要有以下几种:

1、集成电路酸性废气处理(SEX)方法介绍

集成电路行业酸性废气处理方法,主要采用酸碱中和法,通过废气洗涤塔气液交叉接触,碱液喷淋洗涤即可净化酸性废气。

2、集成电路碱性废气处理(AEX)方法介绍

集成电路行业碱性废气处理方法,主要采用酸碱中和法,通过废气洗涤塔气液交叉接触,酸液喷淋洗涤即可废气净化碱性废气。

集成电路酸碱废气处理系统

3、集成电路有机废气处理(VEX)方法介绍

集成电路行业有机废气处理方法,通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后,再用直接燃烧法炉燃烧销毁,废气净化率达到96%以上。

直接燃烧也称为直接火焰燃烧,它是把废气中可燃的有害组分当做燃料直接烧掉,因此这种废气处理方法适用于集成电路行业有机废气净化可燃有害组分浓度较高的废气,或者是用于净化有害组分燃烧时热值较高的废气。

集成电路有机废气处理系统

4、集成电路一般排气(GEX)方法介绍

一般排气无需处理,直接排放即可。

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