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有研半导体氮氧化物减排废气治理工程

有研半导体材料有限公司成立于2001年6月,高新技术企业,拥有整套具备自主知识产权的核心技术和符合国际标准的厂房设备。主要从事硅材料的研究、开发、生产与经营,提供相关技术开发、技术转让和技术咨询服务。主要产品硅单晶及硅片,应用于集成电路、功率器件、太阳能等多个L域,远销美国、日本、韩国、台湾等多个地区,在国内外市场具有较高的知名度和影响力。

有研

氮氧化物(主要为二氧化氮)为半导体生产工艺中主要废气,其不同于其他的酸性废气,在碱性溶液中溶解度较弱,两相转化率较低。处理二氧化氮为主的废气主要通过氧化还原的方法进行吸收处理。相比于传统的酸碱吸收的方法,氧化还原的吸收方式反应速率低,但处理效率可以大大提升。

 

氮氧化物废气系统处理工艺路线:

气体收集➡氧化还原塔➡耐腐蚀风机➡烟囱(达标排放)

废气治理系统

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