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中科晶电半导体制程排气废气治理系统工程

忻州中科晶电信息材料有限公司(业主)是由中科晶电集团控股成员企业与忻州开发区通汇建设发展有限责任公司共同投资设立的一家高科技新型半导体材料企业,公司以研发、生产和销售砷化镓衬底材料为主,投资约2.5亿元,建设2-6英寸砷化镓衬底材料大规模生产线。

中科晶电

厂区内废气治理系统共7套,分别为:备料过程中石英管清晰和氮化硼坩埚清洗产生的酸碱废气、单晶脱模使用甲醇产生的有机废气,晶片抛光清洗过程中产生的酸碱废气、砷化镓晶片在切磨过程中的酸碱废气、砷化镓多晶及单晶切割加工过程产生的粉尘废气,其中酸碱废气处理系统4套,有机废气处理系统2套,粉尘处理系统1套。

废气治理系统

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