电子半导体行业废气成分及种类介绍
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半导体行业隶属电子信息产业，属于硬件产业，是以半导体为基础而发展起来的一个产业。上游为半导体支撑业，包括半导体材料和半导体设备。中游按照制造技术分为分立器件和集成电路。在半导体行业当中，半导体材料是此行业的支撑业。半导体材料是指导电率介于金属和绝缘体之间的材料。半导体材料是制作晶体管、集成电路、光电子器件的重要材料。下面为您介绍电子半导体行业废气成分含量及种类：
做半导体产生的废气成分
半导体制程工艺中产生的废气类别大概有：一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。
对于含有酸性/碱性物质的废气，半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远，因此部分酸性/碱性废气在输送z中央废气处理系统前，常因气体特性导致在管道中结晶或粉尘堆积，造成管道堵塞后导致气体外泄，严重者甚z引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全。
半导体厂废气种类
在半导体工艺制程中，需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气，这些废气如果没有经过废气处理设备很好的处理便进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
半导体企业废气一般分为酸性排气、碱性排气、有机废气、砷排和一般排气等。
（m6网页版环保处理半导体厂废气案例）
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